產(chǎn)品分類
- 磁控濺射鍍膜儀
- 熱蒸發(fā)鍍膜儀
- 高溫熔煉爐
- 等離子鍍膜儀
- 可編程勻膠機(jī)
- 涂布機(jī)
- 等離子清洗機(jī)
- 放電等離子燒結(jié)爐
- 靜電紡絲
- 金剛石切割機(jī)
- 快速退火爐
- 晶體生長爐
- 真空管式爐
- 旋轉(zhuǎn)管式爐
- PECVD氣相沉積系統(tǒng)
- 熱解噴涂
- 提拉涂膜機(jī)
- 二合一鍍膜儀
- 多弧離子鍍膜儀
- 電子束，激光鍍膜儀
- CVD氣相沉積系統(tǒng)
- 立式管式爐
- 1200管式爐
- 高溫真空爐
- 氧化鋯燒結(jié)爐
- 高溫箱式爐
- 箱式氣氛爐
- 高溫高壓爐
- 石墨烯制備
- 區(qū)域提純爐
- 微波燒結(jié)爐
- 粉末壓片機(jī)
- 真空手套箱
- 真空熱壓機(jī)
- 培育鉆石
- 二硫化鉬制備
- 高性能真空泵
- 質(zhì)量流量計
- 真空法蘭
- 混料機(jī)設(shè)備
- UV光固機(jī)
- 注射泵
- 氣體分析儀
- 電池制備
- 超硬刀具焊接爐
- 環(huán)境模擬試驗(yàn)設(shè)備
- 實(shí)驗(yàn)室產(chǎn)品配件
- 實(shí)驗(yàn)室鍍膜耗材
- 其他產(chǎn)品
產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
本設(shè)備為客戶定制等離子測試設(shè)備。設(shè)備主要部件為一個電感耦合的等離子發(fā)生器，發(fā)生器能夠在電感線圈內(nèi)部的石英管內(nèi)產(chǎn)生等離子體，石英管兩側(cè)的法蘭配有觀察窗，用戶可以在觀察窗上觀察實(shí)驗(yàn)現(xiàn)象或者用其他儀器測量相關(guān)參數(shù)。設(shè)備采用觸控屏控制，屏幕集成所有實(shí)驗(yàn)功能，如抽放真空、流量控制、射頻電源調(diào)節(jié)等。同時電感線圈采用水冷設(shè)計，外殼另有散熱風(fēng)扇，保證了整套設(shè)備長時間工作的穩(wěn)定性。該設(shè)備是高校實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行等離子體相關(guān)性質(zhì)研究的必備儀器。
詳情介紹：
技術(shù)規(guī)格：
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供電電壓 |
AC220V，50Hz |
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*大功率 |
1KW |
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耦合方式 |
電感耦合 |
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石英腔體 |
O.Dφ30mm X 150mm 壁厚3.5mm |
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觀察窗尺寸 |
φ30mm |
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真空接口 |
KF16 |
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進(jìn)氣口接口 |
6.35mm 卡套接頭 |
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質(zhì)量流量計 |
Ar標(biāo)定 量程100sccm |
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真空泵 |
雙極旋片真空泵 |
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極限真空度 |
0.1Pa |
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冷卻方式 |
水冷銅管+風(fēng)冷殼體 |
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射頻電源 |
*大輸出功率300W 自動匹配 頻率13.56MHz |
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整機(jī)尺寸 |
560mm X 620mm X 620mm |
