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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:大功率直流磁控濺射鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號(hào):CY-MSH325- I-DC-SS
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
大功率直流磁控濺射鍍膜儀是一款高功率臺(tái)式磁控等離子濺射鍍膜機(jī) ,帶有一個(gè)水冷2英寸靶頭,冷水機(jī)和可旋轉(zhuǎn)樣品架。大功率直流磁控濺射鍍膜儀設(shè)計(jì)用于涂覆直徑達(dá)4英寸的所有金屬薄膜, 包括Zn、Al、Ti和碳光膜,價(jià)格合理。包含一個(gè)Al 目標(biāo)以供立即使用。
詳情介紹:

大功率直流磁控濺射鍍膜儀產(chǎn)品內(nèi)容:

大功率直流磁控濺射鍍膜儀包含一個(gè)2英寸水冷靶頭和可旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)。水冷靶頭使鍍膜后的樣品表面不會(huì)因鍍膜溫度過(guò)高而變形,甚至損壞樣品;樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn),可以使樣品邊旋轉(zhuǎn)邊鍍膜使鍍膜后的樣品表面膜后均勻。設(shè)備外形小巧,性價(jià)比高,是制作各種金屬薄膜理想的鍍膜設(shè)備,可選配各種金屬靶材和真空泵搭配設(shè)備使用。

大功率直流磁控濺射鍍膜儀技術(shù)規(guī)格:

項(xiàng)目

明細(xì)

產(chǎn)品型號(hào)

CY-MSH325- I-DC-SS

供電電壓

AC220V,50Hz

整機(jī)功率

4KW

系統(tǒng)真空

5×10-4Pa

樣品臺(tái)

外形尺寸

φ150mm

加熱溫度

500℃

控溫精度

±1

可調(diào)轉(zhuǎn)速

20rpm

磁控靶槍

靶材尺寸

直徑Φ50.8mm,厚度3mm

冷卻模式

循環(huán)水冷

水流大小

不小于10L/Min

真空腔體

腔體尺寸

直徑φ325mm,高度500mm

腔體材質(zhì)

SUU304不銹鋼

觀察窗口

直徑φ100mm

開(kāi)啟方式

頂開(kāi)式

氣體控制

1路質(zhì)量流量計(jì)用于控制Ar流量,量程為:200SCCM

真空系統(tǒng)

配分子泵系統(tǒng)1套,氣體抽速600L/S

膜厚測(cè)量

可選配石英晶體膜厚儀,分辨率0.10 ?

濺射電源

直流電源500W

控制系統(tǒng)

CYKY自研專業(yè)級(jí)控制系統(tǒng)

設(shè)備尺寸

600mm × 650mm × 1280mm

設(shè)備重量

350kg


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